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标题: Comparative Study of Plasma-Enhanced-Atomic-Layer-Deposited Al2O3/HfO2/SiO2 and HfO2/Al2O3/SiO2 Trilayers for Ultraviolet Laser Applications
作者: Lin, Zesheng; Song, Chen; Liu, Tianbao; Shao, Jianda; Zhu, Meiping
论文类型:
期刊/会议名称: ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES
年: 2024
卷: 16
期: 24