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标题: Silicon flower structures by maskless plasma etching
作者: Zhao, Geng; Zhao, Xiaoyan; Zhang, Haimiao; Lian, Ziwei; Zhao, Yongmin; Ming, Anjie; Lin, Yuanwei
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: HELIYON
年: 2023
卷: 9
期: 12