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标题: 基于壁面反射增强模型的熔石英刻蚀形貌形成机理研究
作者: 陈军;王林;魏朝阳;邵建达
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 光学学报
年: 2023
卷: 43
期: 21