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标题: RB-SiC表面飞秒激光烧蚀与抛光工艺研究
作者: 陈欢;魏朝阳;曹珍;彭小聪;邵建达
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 中国激光
年: 2023
卷: 50
期: 24