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标题: Thin film aluminum nitride surface acoustic wave resonators for quantum acoustodynamics
作者: Jiang, WB; Chen, JF; Liu, XY; Niu, ZQ; Liu, K; Peng, W; Wang, Z; Lin, ZR
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED PHYSICS LETTERS
年: 2023
卷: 123
期: 2