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标题: Optical characterization of the impact of 100 keV protons on the optical properties of ZrO2 films prepared by ALD on fused silica substrates
作者: Sytchkova, A.; Protopapa, M. L.; Olivero, P.; Tapfer, L.; Burresi, E.; Dunatov, T.; Siketic, Z.; Palmisano, M.; Pesce, E.; Wang, Y.; Wang, Z.; He, H.
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED OPTICS
年: 2023
卷: 62
期: 7