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标题: 石英基底上亚微米级二元光学元件的电子束直写加工工艺
作者: 黄胜利;凌天宇;徐剑;胡敬佩;付学成;刘民;权雪玲
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: 微纳电子技术
年: 2023
卷: 60
期: 3