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标题: Phase defect characterization using generative adversarial networks for extreme ultraviolet lithography
作者: Zheng, Hang; Li, Sikun; Cheng, Wei; Yuan, Shuai; Wang, Xiangzhao
论文类型: 期刊论文
期刊/会议名称: APPLIED OPTICS
年: 2023
卷: 62
期: 5