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上海市光刻光源装备技术重点实验室第一届学术与产业咨询委员会第一次会议暨学术研讨会成功召开

来源： 发布时间：2025-06-20【字体：大 中 小】

6月14日，上海市光刻光源装备技术重点实验室第一届学术与产业咨询委员会第一次会议暨学术研讨会在沪成功召开。上海市科学技术委员会、上海光机所、重点实验室等相关部门领导，以及全体学术与产业咨询委员会委员、实验室科研骨干和管理部门负责人等40余位代表出席会议，共商实验室发展战略，推动光刻光源装备技术攻关与产业应用深度融合。

上海市科委信息处于金旭副处长致辞，他强调实验室要立足国家集成电路产业战略需求，勇当科技创新“先锋队”，打造高层次人才“强磁场”，加速实现“应用基础研究-技术攻关-产业应用”全链条贯通，为上海市建设具有全球影响力的科技创新中心提供核心技术支撑。

上海光机所张龙所长代表依托单位讲话，他表示将深入贯彻落实习近平总书记关于科技创新的重要指示精神，积极响应上海市科技创新中心部署，在平台建设、人才引进、资源调配等方面为实验室提供全方位保障，助力突破光刻领域“卡脖子”技术难题。

重点实验室主任邵建达研究员系统汇报了实验室建设进展，自成立以来，实验室围绕先进光源系统与技术、高阶掩模制造装备与技术、高端量检测技术三大方向开展关键技术攻关，在核心部件研发与装备集成方面取得重要突破。他表示，“十五五”期间实验室将进一步聚焦国家亟需领域，强化全链条协同创新，力争实现战略性技术突破。

实验室丁程远研究员、赵成强研究员、陈成副研究员分别就三大技术方向作专题报告，详细展示阶段性研究成果与未来规划。

学术与产业咨询委员会专家围绕实验室战略布局、科研组织模式、青年人才培养等议题展开深入研讨，提出建设性意见，并特别强调要加强对青年科研人员的指导与支持，为实验室可持续发展注入活力。

本次会议的召开标志着上海市光刻光源装备技术重点实验室进入新发展阶段。未来，实验室将充分发挥学术与产业咨询委员会的智库作用，深化“产学研用”协同，为我国光刻技术自主可控和高端装备制造高质量发展贡献核心力量。

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