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成维同学博士学位论文答辩报告会(2022.8.18)

来源: 发布时间:2022-08-16【字体:
 

论文题目:极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术研究

答辩人:成维

指导老师:王向朝研究员、李思坤研究员

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

李建郎

教授

上海理工大学

委员

雷安乐

研究员

中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

叶青

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

林楠

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

苏榕

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

答辩地点:上海光机所16号楼314会议室

答辩时间:2022-8-18  上午930

上海光机所研究生部

2022-8-16


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