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张子南同学博士学位论文答辩报告会(2022.5.26)

来源: 发布时间:2022-05-22【字体:
 

论文题目:极紫外光刻三维掩模成像研究

答辩人:张子南

指导老师:王向朝 研究员,李思坤 研究员

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

韦亚一

研究员

中科院微电子所

委员

高志山

教授

南京理工大学

张建华

教授

上海大学

齐月静

研究员

中科院微电子所

刘东

教授

浙江大学

刘世杰

研究员

中科院上海光机所

答辩地点:腾讯会议 386-980-697

答辩时间:2022-5-26  1300

上海光机所研究生部

2022-5-21


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