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马晓喆同学博士学位论文答辩报告会(2021.05.22)

来源: 发布时间:2021-05-20【字体:
 

论文题目:浸没光刻机照明系统照明光场产生技术研究

答辩人:马晓喆

指导老师:黄惠杰研究员

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

肖体乔

研究员

中国科学院上海高等研究院

委员

吴亚明

研究员

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

曾爱军

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

黄立华

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

杨宝喜

正高级工程师

中国科学院上海光学精密机械研究所

答辩地点:霍城路635213会议室

答辩时间:2021-05-22  830

上海光机所研究生部

2021-05-20


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