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张友宝同学博士学位论文答辩报告会(2020.05.29)

来源: 发布时间:2020-05-26【字体:

论文题目:高端光刻机照明系统控制技术研究

答辩人:张友宝

指导老师:黄惠杰研究员

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

肖体乔

研究员

上海高等研究院

委员

吴亚明

研究员

上海微系统所

曾爱军

研究员

上海光机所

黄立华

研究员

上海光机所

步扬

研究员

上海光机所

答辩地点:上海光机所16号楼301会议室

答辩时间:2020-05-29  830

上海光机所研究生部

2020-05-26


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