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曾宗顺同学博士学位论文答辩报告会(2020.05.29)

来源: 发布时间:2020-05-26【字体:

论文题目:浸没光刻机自由光瞳照明技术研究

答辩人:曾宗顺

指导老师:黄惠杰研究员

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

肖体乔

研究员

中国科学院上海高等研究院

委员

吴亚明

研究员

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

曾爱军

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

黄立华

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

步扬

研究员

中国科学院上海光学精密机械研究所

答辩地点:上海光机所16号楼3301会议室

答辩时间:2020-05-29  9:25

上海光机所研究生部

2019-05-26


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