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甘雨同学硕士学位论文答辩报告会(2019.5.24)

来源: 发布时间:2019-05-22【字体:

论文题目:光刻机照明系统光瞳特性评估算法研究

答辩人:甘雨

指导老师:杨宝喜高级工程师

学科(专业):光学工程

学位答辩委员会成员:

答辩委员会成员

专业技术职务

工作单位

主席

肖体乔

研究员

上海应物所

委员

吴亚明

研究员

上海微系统所

魏劲松

研究员

上海光机所

黄惠杰

研究员

上海光机所

曾爱军

研究员

上海光机所

 

答辩地点:上海光机16号楼3楼会议室

答辩时间:2019-5-24  8:30

上海光机所研究生部
2019-5-24


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