中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
超强激光科学卓越创新简报
(第三百二十八期)
2022年12月5日
上海光机所在倾斜沉积制备宽带减反射膜方面取得新进展
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室报道了采用倾斜沉积技术将SiO2薄膜的折射率从1.45调整到1.15的精确控制,并制备了一种超宽带的SiO2梯度折射率宽带减反射膜。相关成果以“Broadband antireflection film by glancing angle deposition”为题发表在Optical Materials。
为了减少光学元件表面的反射,增加光在工作波段的透过率,获得更好的光学性能,宽带减反射膜被广泛应用于许多光学系统中。传统的宽带增透涂料是采用高、低折射率薄膜叠加制备的,其能实现的减反射带宽受限于材料折射率和膜系,很难实现超宽带范围内减反射效果。传统防反射涂层的另一种替代方法是蛾眼效应,它通过蛾眼结构产生亚波长表面浮雕,可以在更宽的波长和角度范围内实现防反射效果,但是浮雕的制备工艺复杂。而使用倾斜沉积制备薄膜,由于自遮挡效应,使得在大沉积角度下膜层是疏松多孔的,薄膜折射率发生变化,使薄膜折射率可调,可以实现更宽的减反射增透的效果。
利用这一特性,课题组采用沉积角度从0°至80°时制备了不同沉积角度SiO2薄膜。给出了不同角度沉积SiO2薄膜的透过率曲线,根据这些曲线,得到不同倾斜沉积角度下膜层的折射率,根据拟合的折射率,设计了折射率和厚度非连续变化的变折射率膜系,并进行了增透膜的制备。其中,在400nm-1800nm范围内,平均剩余反射率为0.41%,增透效果明显,并且对于测试角度的变化体现出了角度不敏感的特性。变折射率制备的宽带增透膜因其光谱范围宽,光谱特性好,角度不敏感,在光学系统中有广泛的应用。
该项研究获得了国家自然科学基金的支持。
图1 不同沉积角度下的薄膜透过率曲线
图2 增透膜在不同入射角度下的测量残余剩余反射率曲线
图3 宽带增透膜的截面形貌图
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