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9月25日学术报告

来源： 发布时间：2014-09-24【字体：大 中 小】

　　题目：Nano-meter  Resolution X-ray Topography (nm-XRT)　

　　姓名：Dr. Yang Ping　

　　单位：Singapore  Synchrotron  Light  Source (SSLS)　　

　　时间：2014年9月25日（星期四） 下午2:00

　　地点：溢智厅  

 

　　Abstract: 

　　报告简单回顾传统的X-射线形貌(X-ray Topography, XRT)技术和各种缺陷的形貌图，指出其优，缺点，尤其是分辨率问题。提出结合X-ray microscopy (XRM),将X-射线形貌术的分辨率开发至30nm, 视XRM和XRT相关技术的发展水平，将来可以到10nm，甚至更好的水平，并讨论其技术难点。这将会促进晶体材料质量控制和表征以及相关科学技术的发展，对于当前的太阳能材料和微电子材料结构表征以及工艺监测研究也具有重要意义（例如，45nm 和 22nm，甚至14nm工艺）。 

　　About the speaker, Dr Yang Ping:  

　　Dr Yang Ping is a principal research fellow at the Singapore Synchrotron Light Source (SSLS), located in the National University of Singapore responsible for XDD beam line. He has 30 years’ experience on X-Ray diffractometry (XRD) and other Synchrotron radiation applications, and has work experience in world famous Synchrotron radiation sources. Just to name a few of his research activities, they mainly include:  

　　1.       Structure analysis by single & powder crystal X-ray diffraction 

　　2.       High-resolution X-ray diffractometry (HR-XRD) 

　　3.       X-ray diffraction topographic study on defects and strain in crystal materials 

　　4.       Thin film characterization by X-ray reflectometry (XRR) , diffuse scattering & diffractometry 

　　5.       Atomic force microscopy (AFM) and transmission electron microscopy (TEM) 

　　6.       Application and instrumentation of synchrotron radiation and other X-ray equips, and  

　　7.        Radiation shielding physics/safety. 

　　He is also the treasurer of the Society for Crystallography - Singapore (SfC-S). 

                                                                       所办公室

                                                                      2014.9.24

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