中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
报告人: | 魏劲松 研究员 | |
报告题目: |
无衍射极限的跨尺度激光热模光刻技术 | |
报告时间: | 2018年8月31日(周五) 12:30-13:30 | |
报告地点: | 1号楼多功能厅 |
报告简介 | 议题海报 | 本期照片 | 本期议题简讯 |
Abstract |
魏劲松研究员主要从事非线性超分辨纳米光学研究以及相应的光学仪器系统设计与研制,并用于纳米光刻、大数据存储以及超分辨光学成像等。目前,以第一和通讯作者发表SCI/EI论文100余篇,引用近千次,出版英文著作2部和科技图书专著,获得授权的国家发明专利20项,获得中国出版协会等组织的2015年度输出版优秀图书奖,并提出的“无极限跨尺度激光热模光刻技术与系统集成”获得2018年度首届“率先杯”未来技术创新大赛决赛优胜奖。 报告简介 由军委科技委发起、中国科学院主办的第一届“率先杯”未来技术创新大赛,共170多家科研院所、社会研究机构、高校、企业及创新创业团队总计600余个项目、3000余名选手参赛。经历3轮大比例的淘汰,我所魏劲松研究员的参赛项目“无衍射极限的跨尺度激光热模光刻技术” 等30个项目脱颖而出,获得第一届率先杯未来技术创新大赛决赛优胜奖。 光刻在芯片制造中最为关键,也是难度最大、占用成本最高的一个环节。传统的激光光刻,其曝光过程是基于有机光刻胶的光化学反应(光模(photon-mode)光刻),其进一步发展受到多种因素的制约。“无衍射极限的跨尺度激光热模(heat-mode)光刻技术”从物理机制上不同于传统的光模光刻。在该技术中,光刻胶吸收光子能量后,不会直接破坏价键结构,而是将其进一步转化成晶格振动能;通过精密调控其光热非线性、光热相变和热扩散等物理特性来改变光刻图形尺寸,从而实现无衍射极限的跨尺度光刻。 |
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