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赵娇玲

来源： 发布时间：2022-05-16【字体：大 中 小】

籍贯（省市）： 福建省漳州市  

所在单位： 上海光学精密机械研究所  

入会时间： 2020年  

联系方式： jolin923@siom.ac.cn

个人简历：

　　2013.08-2016.07 上海光学精密机械研究所，光学工程，博士

　　2016.08-2018.08 上海光学精密机械研究所，助理研究员

　　2018.08-至   今 上海光学精密机械研究所，副研究员

研究方向：

　　1.极端光谱条件下的光学薄膜，包括极紫外、软X射线、X射线和中子薄膜等。发展面向极紫外光刻、新一代光源与中子源等国家重要需求的应用基础研究。

　　2.薄膜材料物理表面界面理论，X射线与薄膜材料相互作用机理。

承担项目：

　　主持国家自然科学基金青年基金项目2项（在研）、国家PT项目1项，承担了XX子课题1项，中国工程物理研究院预研项目2项，参与国家重大专项、中科院重点部署、上海市科委重要项目等5项。

学术成果：

　　近5年在ACS Applied Materials & Interfaces、Applied Physics Letters、Optics Letters等期刊发表SCI论文20余篇，申请专利9项，授权4项。突破亚纳米膜厚精度控制与界面工程技术，从理论建模和实验工艺上攻克EUV收集镜横向梯度镀膜和应力控制难题，实现200mm大陡度收集镜厚度均一性达到±0.1%。研制13.5nm光刻用Mo/Si多层膜反射率接近68%，推进相关项目获得立项。研制大尺寸中子超镜m=2， m=3掠角全范围内平均反射率大于90% 。

荣誉称号：

　　2017年度上海光机所优秀女职工/多次部门考核优秀

　　2020年入选中科院青促会会员

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