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李中梁

来源： 发布时间：2022-05-16【字体：大 中 小】

籍贯（省市）： 辽宁省锦州市  

所在单位： 上海光学精密机械研究所  

入会时间： 2018年  

联系方式： lizhongliang@siom.ac.cn   

个人简历：  

　　2000.09-2004.06  南开大学          学士

　　2004.09-2009.06  中国科学院上海光机所  博士

　　2009.07-至   今  中国科学院上海光机所  助研、副研、研究员

研究方向：

　　高端光刻机技术，EUV光刻光源，光学精密检测技术。

承担项目：

　　作为负责人，承担中国科学院A类先导专项项目、国家科技重大专项（02 专项）任务、科技部国际科技合作课题、国家自然科学基金面上项目、国家重大科研仪器研制任务、上海市科委重点项目等 10 余项科研任务。

学术成果：

　　作为中国科学院A类先导专项副总设计师和项目负责人，开展激光等离子体光源的攻关；研发的偏振检测技术为光刻机偏振照明系统、投影物镜验证提供了关键检测手段，为研发光刻机照明系统和投影物镜提供了重要技术支撑；研发的手持式眼底照相机已上市销售。在Optics express、Optics Communicationns、Scientific reports等国际、国内一流光学期刊上发表学术论文50余篇，获发明专利授权20余项。

荣誉称号：

　　中国科学院青年创新促进会会员 (2018)

　　中国科学院青年创新促进会优秀会员 (2022)

　　中国电子学会科技进步二等奖（2016）

附件下载：

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