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白俄罗斯KBTEM-OMO公司Syarhei Avakaw博士访问上海光机所

来源: 发布时间:2014-05-13【字体:

  56-8日,白俄罗斯KBTEM-OMO公司Syarhei Avakaw博士一行访问上海光机所,并于57日作了题为“New KBTEM-OMO Designs based on Laser and Optical Technologies”的学术报告。 

  学术报告开始前,上海光机所党委书记、副所长邵建达与Syarhei Avakaw博士进行了亲切友好的交流,并就双方未来的深入合作前景交换了意见 

  学术报告会由信息光学与光电技术实验室副主任黄惠杰研究员主持。Syarhei Avakaw博士主要介绍了KBTEM-OMO公司目前从事的研发与生产领域,并对半导体光刻技术的发展趋势作了简要分析。学术报告结束后,Syarhei Avakaw博士还与参会人员就相关技术问题进行了深入交流。 

  KBTEM-OMO公司是东欧最大的半导体设备供应商,已有50余年的半导体设备研发与制造历史,在全球已有250多家用户,其产品包括基于激光直写的图形发生器、掩模检测设备、掩模修补设备、接近/接触光刻机、投影光刻机与硅片检测设备等。(信息光学与光电技术实验室供稿) 


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