
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
7月19日,中国科学院“外国专家特聘研究员”——德国夫琅和费集成系统与器件技术研究所(Fraunhofer IISB)的Andreas Erdmann博士来所开展学术交流并作学术报告。
在题为“Modeling of defect inspection and detection and disposition using optical image projection”的报告中,Andreas Erdmann博士详细介绍了纳米结构缺陷的分析和检测方法,讨论了其在极紫外光刻掩模三维缺陷检测和光栅缺陷检测中的应用,并报告了2012年“外国专家特聘研究员”项目合作研究计划。信息光学与光电技术实验室王向朝主任、实验室相关研究人员和研究生参加了学术交流报告会。双方就报告内容涉及的相关问题开展了深入的交流和讨论。
Andreas Erdmann博士从1999年开始担任德国弗劳恩霍夫集成系统和元器件技术研究所光刻模拟组组长。目前主要从事光学光刻和极紫外光刻(EUVL)模拟、光刻软件开发以及光刻模型在评估和优化在半导体工艺光刻过程中的应用等方面的研究。2012年,Andreas Erdmann博士通过中国科学院国际合作局评审,受聘为中国科学院“外国专家特聘研究员”。(信息光学与光电技术实验室供稿)
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