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恒益公司数控小工具抛光机床加工工艺取得突破性进展

来源：恒益公司 发布时间：2012-05-04【字体：大 中 小】

2012年4月底，所恒益公司成功利用2011年11月引进的数控小工具抛光机床设备，完成了600mm干涉仪标准镜的精密抛光，实现了反射表面精度优于PV λ/10（λ=0.6328nm）的高精度加工。这标志着恒益公司光学加工具备了利用数控抛光技术加工高精度平面光学元件的技术能力，在冷加工传统抛光工艺的基础上取得了突破性进展。

为在传统光学冷加工的基础上提升光学精密加工能力，满足上海光机所在重大科研工程中大口径光学元件的超精密加工需求，恒益公司于2011年11月份引进了数控小工具抛光机床。该机床采用计算机控制光学表面成形技术（Computer Controlled Optical Surfacing , CCOS）对光学材料进行确定性去除抛光，具有比传统抛光工艺更高的切削效率，且可以解决传统抛光很难去除的局部面形误差，有效提高元件抛光面形的精度指标，是一种高精度且高效的新型加工工艺。

该数控小工具抛光机床是恒益公司引进的第一台数控光学镜面加工设备。在引进数控小工具抛光机床后，恒益公司组织了一支青年队伍积极开展新设备和新工艺的研究和试生产。设备于2011年11月份进场，12月份调试完毕，之后开展了大量的工艺实验，在较短的时间内掌握了数控小工具抛光机床的工艺技术，成功地将一块600mm口径的熔石英玻璃抛光到表面PV 0.098λ（波前梯度GRMS 0.0054λ/cm），将一块600mm口径的微晶玻璃抛光到表面PV 0.105λ（波前梯度GRMS0.0049λ/cm），基本达到了进口ZYGO24吋平面干涉仪标准镜的最高精度。

基于在大镜面传统光学冷加工方面的技术优势，恒益公司顺利完成了前期神光装置所需的大量的平面、球面和非球面镜光学加工。本次数控小工具抛光机床设备的引进及计算机数控光学表面成型技术的掌握，进一步提高了恒益公司为重大科研工程提供大口径光学元件超精密加工的技术能力。（恒益公司供稿）

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