
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
2011年3月4日,中国科学院上海光学精密机械研究所组织专家对国际光学工程学会会士(SPIE Fellow)、日本新泻大学Osami Sasaki教授承担的“中国科学院外国专家特聘研究员计划”项目(编号:2010T1G14)进行了同行评议,该项目是对EUVL投影曝光光学系统波像差干涉测量技术开展的研究。专家组认为该项目完成了预期研究内容,达到了研究目标,一致同意该项目通过评议。
极大规模集成电路是当今几乎所有高技术领域发展的基石。新一代集成电路的出现,总是以光刻工艺实现更小的芯片特征尺寸为主要技术标志。根据2010年国际半导体技术蓝图,极紫外光刻技术(EUVL)是22nm及以下节点的首选光刻技术。高精度EUVL波像差检测技术是研发22nm及以下节点EUVL投影曝光光学系统必须采用的关键技术。
在上海光机所工作的两个多月里,Osami Sasaki教授与王向朝教授研究团队密切合作,对EUVL投影曝光光学系统波像差干涉测量技术进行了专项研究。Osami Sasaki教授基于正弦相位调制干涉测量技术,提出了一种用于高精度测量EUVL光学系统波像差的正弦相位调制剪切干涉测量技术。合作研究团队对该技术进行了深入研究,设计了用于剪切干涉测量装置的剪切光栅,建立了剪切干涉信号信息处理算法模型与光学系统波前重建算法模型。在研究过程中,Osami Sasaki教授同时协助指导了多名参与该项目研究的博士生与硕士生。(信息光学与光电技术实验室供稿)
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