中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
上海光机所知识创新工程工作简报
(第三四二期)
2014年4月29日
《自然·光子学》专栏报道上海光机所高密度光存储实验室首次利用硫系薄膜实现灰度光刻
2014年5月出版的《Nature Photonics》(《自然·光子学》)杂志,在News & Views专栏中,专题报道了中科院上海光机所高密度光存储实验室魏劲松研究小组首次利用硫系薄膜实现高分辨率的灰度图形光刻[Nature Photonics 8, 352 (2014), doi:10.1038/nphoton.2014.92]。该研究小组在干福熹院士和吴谊群研究员的带领下长期从事非线性超分辨纳米光学与光子学研究以及微纳结构光刻构造与应用开发。上述研究成果的全文发表于2014年3月10日出版的《光学快讯》[Optics Express 22, 5, 4973-4984 (2014)]。该项研究首次发现利用激光直写在硫系薄膜形成表面浮雕结构,通过精确控制激光脉冲能量可以得到不同高度和尺寸的浮雕结构,不同高度和尺寸的浮雕结构产生不同的反射(透射)光谱,利用该效应形成灰度光刻,并成功在Sb2Te3薄膜上刻写出连续调灰度图像。
《自然·光子学》杂志编辑部Simon Pleasants博士撰稿的上述专栏报道,以”Lithography: Chalcogenide promise”为题,重点评论指出:“硫系薄膜作为相变材料在光存储,半导体存储中具有广泛的应用,这些应用基于硫系薄膜的非晶态和晶态所具有的不同光学特性和电学特性。现在,利用硫系薄膜的液态,气态,晶态和非晶态四种状态,演示了使用硫系相变薄膜作为灰度光刻材料制备灰度图形(Opt. Express 22, 4973–4984; 2014)”。
该研究通过激光直写硫系相变材料形成表面浮雕结构,为复杂灰度图案的制备提供了新的解决办法,这与当前的曝光成像技术,电子束光刻,聚焦离子束光刻技术不同,是一种新颖简单又低成本的制造工艺。凸起的浮雕结构展示的光学性能在高分辨率的微纳图像存储,微艺术品加工和灰度掩膜制备等许多方面有潜在的应用价值。
该项研究得到了国家自然科学基金,中国科学院科研装备研制计划和上海市科委基础研究重点计划的支持。(高密度光存储实验室供稿)
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