中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
超强激光科学卓越创新简报
(第五百四十一期)
2024年8月20日
上海光机所在光学元件多表面面形测量方面取得进展
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光元件技术与工程部在光学元件多表面面形测量研究方面取得新进展,相关成果以“Surface profile measurement of transparent parallel plates by multi-scale analysis phase-shifting interferometry (MAPSI)”为题发表于Optics and Lasers in Engineering。
在光学元件的多表面面形测量中,传统的傅里叶相移干涉术(FTPSI,ZygoCorp.)主要通过利用傅立叶变换精确地重建光学表面轮廓。该测量方式也存在诸多局限,如对激光器指标的要求较高,大量干涉图的长时间采集使测量结果受环境振动影响较大,需要用户输入精确腔长等问题。
针对这些问题,研究人员提出的多尺度分析相移干涉术(Multi-scaleAnalysis Phase-shifting Interferometry,MAPSI)展现出了出色的性能。该技术的核心在于通过精心设计的移相步长和采样数,在波长调谐移相期间实现精确的频率分析和高精度波前重建,有效避免了传统多表面面形干涉测试中常见的采样不足和频谱移动问题。实验结果显示,与FTPSI相比,MAPSI仅需更少的图像采样(约为FTPSI的1/6~1/4),即可实现波前重构的高测量重复性。其PV测量重复性和RMS测量重复性分别优于0.055λ和0.012λ。MAPSI不仅显著降低了对激光器调谐范围的要求,减少了干涉图的采集数量,而且其测量结果与用户输入的腔长准确性无关,极大地提高了测量的便捷性。该工作在光学元件多表面面形测量中具有重要意义。
图1 配备MAPSI的恒迈光学4英寸波长调谐移相干涉仪
图2 MAPSI在不同腔长下的测量结果对比
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