中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)成立于1964年5月,是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。发展至今,已形成以探索现代光学重大基础及应用基础前沿、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。研究...
中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)是我国建立最早、规模最大的激光专业研究所,成立于1964年,现已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。重...
上海光机所国际合作工作始终围绕上海光机所的主责主业,以服务重大任务和国家需求为牵引,强化目标导向,注重内外集成协同,加强重大国际合作任务的谋划。坚持“战略布局,需求牵引,技术引领,合作共赢”的原则,基于科技部授予的国家国际科技合作基地及本单位学科技术优势,围绕“一带一路”国家倡议,深化拓展与发达国家实质性合作,夯实海外机构建设,积极培育和发起国际大科学计划,加强国际组织任职推荐,组织相关国际会议等,汇聚各类国际人才,建立以“平台-人才-项目-组织”合作模式,融入全球创新合作网络,助力上海光机所成为国际一流科研机构。上海光机所国际合作一直得到所领导的高度重视,历届所长亲自主管国际合作。1972年,上海光机所接待诺贝尔奖的美籍华裔科学家杨振宁,标志着我所第一次对外开放。2007年,被科技部首批授予“科技部国际科技合作基地”。2016年,科技部首次对全国2006-2008年间认定的113家国际合作基地进行了评估,上海光机所获评“优秀”。2021年,科技部首次对全国719家国际合作基地进行了评估,上海光机所持续获评“ 优秀”。王岐山副主席到上海光机所视察时,对上海光机所近几年取得的系列科技成果,以及重大国际合作项目“中以高功...
作为我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所,和首批上海市科普教育基地之一,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称:上海光机所)在致力于科技创新的同时,十分重视科普工作。多年来,上海光机所借助科研院所强大的科普资源优势,围绕光学与激光科学技术,积极开展公众开放日、科普讲座、科技课堂、科普作品创...
超强激光科学卓越创新简报
(第四百八十五期)
2024年3月18日
上海光机所在EUV和软x射线分束器方面首次取得进展
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线分束器的设计与实验验证,该研究有望解决极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的分束器受限问题。相关成果以“Azimuthally extreme‑ultraviolet focal splitter by modified spiral photon sieves”为题,发表于APL Photonics。
菲涅耳波带片概念由菲涅耳于1818年提出,并在二十世纪六十年代成功应用于x射线聚焦。2001年,聚焦性能优于波带片的光子筛出现,短波的高性能聚焦有了除波带片外新的器件选择。但传统的波带片和光子筛受限于单焦特性,无法满足短波衍射成像和干涉传感的技术需求,随着高相干短波光源技术的突破,对EUV和x射线的分束器件的需求愈发迫切。
为了解决EUV和x射线分束问题,联合团队在前期费马螺旋光子筛的研究基础上,利用优化算法设计出了改进型螺旋光子筛,实现了EUV波段的角向分束功能。实验中利用46.9nm激光照射光子筛,用光刻胶记录聚焦光场,原子力显微镜读取数据,成功获得多组百纳米聚焦的角向分束光斑,实验结果和理论预测符合。EUV和x射线分束器的出现为短波的阵列光刻、“水窗”波段的活体生物细胞成像、激光等离子体的干涉诊断、x射线显微镜和分束相干衍射成像等拓展了新的发展空间。
相关工作得到国家自然科学基金、中国科学院战略性先导科技专项A类等项目的支持。
图1 EUV分束器的螺旋光子筛初始结构
图2 EUV分束器的聚焦实验结果,左:理论值,中:实验值,右:水平分布
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