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上海光机所知识创新工程工作简报

（第二八三期）

2011年9月6日 

上海光机所大口径钕玻璃加工取得重要进展

上海光机所恒益公司大口径钕玻璃加工取得重要进展，精抛光面形透射波前畸变可稳定优于1/3λ（λ=632.8nm），技术指标达到国内大平面光学环抛加工最高水平，为国际同类产品加工先进水平，并具备小批量生产能力。

大口径钕玻璃是高功率激光装置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密抛光的面形要求为透射波前畸变优于1/3λ，相当于0.21微米的平面度要求。在大尺寸钕玻璃上实现如此高的平面度，温梯度发生1℃的变化都会造成其面形畸变，技术难度高。

近年来，钕玻璃片精抛光过程中的面形控制工艺难度和表面疵病严重超标的现象一直制约着上海光机所恒益公司的加工产能。近几个月来，上海光机所恒益公司集中组织专业技术人员，对钕玻璃光学加工中的相关工艺逐一进行分解和细化，围绕确定性环形抛光技术和生产过程控制，以工艺改进和效率提升为目标，从技术路线和管理路线两个方面进行攻关研究。目前，生产效能和加工工艺水平都取得重要进展，集中表现为以下两个方面：产能得到有效提升，7个月内，月产能从2片/月提升到现在的15片/月（见附图）；产品技术指标提升，尤其是表面质量得到有效控制和改进，供货合格率得到大幅提高。(科研管理处供稿）
 
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