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上海光机所知识创新工程工作简报

（第二七九期）

2011年7月19日 

上海光机所大口径脉宽压缩光栅用膜研制取得突破性进展

 

近日，中科院强激光材料重点实验室承担的大口径脉宽压缩光栅用膜研制工作取得突破性进展。该项目组参与研制的大口径脉宽压缩光栅应用在大能量拍瓦激光系统上，获得了皮秒级的较高能量输出，在光栅面上经受了0.54J/cm2(5ps,1053nm)的激光作用而没有任何损坏，光栅抗激光破坏能力与美国OMEGA-EP、日本FIREX-I装置采用的光栅水平相当，达到了国际先进水平。

中科院强激光材料重点实验室在光栅用大口径介质膜的研制工作中重点解决了以下几个问题：

1.　 同时满足了中心波长1053nm宽波段范围内的高反射和413nm高透过的要求，均匀性控制在±0.5%范围内；

2.　 满足了大口径光栅高破坏阈值的要求；

3.　 有效控制了光栅用膜的应力形变，确保了大口径光栅面形指标要求的实现；

4.　 满足了光栅制作过程对光栅膜提出的强度要求。在经过光刻胶反复涂覆、真空反应离子束的刻蚀和反应气体的腐蚀、水溶液、强酸弱碱液的长时间浸泡清洗等条件下，光栅膜和在其上刻蚀的光栅均能保证稳定的光学和力学特性。

该项突破性进展将对相关专项工作的顺利实施起到积极的推动作用。中科院强激光材料重点实验室将在此基础上进一步提升大口径光栅膜特性。(中科院强激光材料重点实验室供稿)
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