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上海光机所知识创新工程工作简报

 

(第二二三期)

2008年12月2日 

 

上海光机所“高效发光非极性GaN基LED衬底铝酸锂晶体和晶片研制”项目通过验收 

 

   2008年12月2日,上海市科委组织专家对我所承担的上海市科技攻关计划项目《高效发光非极性GaN基LED衬底铝酸锂晶体和晶片研制》进行验收。上海光机所邵建达副所长出席了会议,并向市科委领导及专家介绍了我所晶体材料的相关工作。周圣明研究员作为该项目负责人作了研制总结、技术报告。验收专家听取了工作报告,审查了相关文件资料,并考察了现场,对完成任务情况给予了一致的好评。

 

   该项目组研制出2英寸等径长度大于100mm的铝酸锂晶体11根,制备晶片300多片,技术指标均达到或超过考核要求,晶片质量规格达到实用化,并提供给上海蓝光、南京大学等用户使用;发现了(302)LiAlO2衬底在抛光、外延、稳定性等方面优于(100)LiAlO2衬底,指出了(302)LiAlO2衬底可作为制备非极性a面GaN-LED发光器件的新型衬底。发表论文12篇,申请发明专利6项。专家组认为,该项目为铝酸锂晶体和晶片在半导体白光照明等方面的应用提供了技术和知识产权储备。

 

  验收专家进一步希望提高晶片的加工质量,加强与用户合作,争取早日取得突破,深入开发应用前景。(科研管理处供稿)

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