本所声明  |  联系方式  |  中国科学院  |  数字认证(OA)   |  ARP  |  English  |  邮箱
新闻动态 > 科研动态

上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一九三期）

2007年1月14日


上海光机所两项光科技项目近期通过验收

    2006年12月29日，由上海市科学技术委员会组织专家，分别对上海光机所楼祺洪研究员负责的“新型高功率粗芯双包层光纤激光器研究”项目、刘建胜研究员负责的“极紫外光刻机光源技术的研究”进行了验收。验收委员会听取了项目负责人对项目研制过程的介绍，审阅了项目组提供的技术资料，并就有关问题进行了提问。
    “新型高功率粗芯双包层光纤激光器研究”项目采用双端泵浦的国产粗芯双包层光纤，通过模式控制技术，获得了高功率、高光束质量的激光输出。激光输出参数：激光功率301W、中心波长1.08um、光束质量因子M2为1.38。全面完成了任务指标，并在光纤激光材料焊接方面进行了实验，取得了一定的效果。
    “极紫外光刻机光源技术的研究”项目建立了一套利用高功率YAG激光器辐照固体锡靶以及氙（Xe）团簇靶产生高转换效率极紫外光源的实验研究平台。分别开展了两种靶条件下产生高转换效率极紫外光源的实验研究。在气体靶条件下获得了极紫外光源0.75%的转换效率，在固体靶条件下获得了极紫外光源高于2％的转换效率。极紫外光刻（EUVL）是一种新型的光刻技术，它是以波长为13.5nm的软X射线为曝光光源的微电子光刻技术，并最终是生产更细线宽（最小为30nm）集成电路的主流技术。本项目是开展极紫外光刻机光源技术的研究，属于极紫外光刻机最前端的光源研究，在极紫外光源转换效率方面达到了国际先进水平。本项目的完成将有助于我们开展极紫外光刻机各种单元技术的研究，使我国在EUVL方面具备相当的国际竞争力。
    验收委员会认为该两个项目完成了计划任务书规定的研究成果和考核指标，一致同意通过验收。

（科研管理处供稿）

附件下载：

copyright 2000- 中国科学院上海光学精密机械研究所 沪ICP备05015387号-1
主办：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海市嘉定区清河路390号(201800)

转载本站信息，请注明信息来源和链接。 沪公网安备 31011402010030号


上海光机所
微信公众号

尚光聚力
微信公众号