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上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一八五期）

2006年6月9日

上海光机所“引进ZYGO600mm干涉仪”项目通过验收

 
    2006年5月31日，863主题专家组在上海光机所组织召开了“引进ZYGO600mm干涉仪”项目验收会。验收会前张维岩、黄桂学等863主题专家对该项目进行了现场考察。验收会上课题组朱健强研究员作了工作总结报告，沈卫星副研究员作了测试报告。专家组听取了课题组工作汇报，审核了经费使用情况和文档资料，专家组认为：
    该项目各项性能指标均达到合同规定要求，标准镜精度好于λ/10，干涉腔精度为λ/10，RMS重复精度＜0.001λ（1σ）。在1K×1K像素CCD阵列下，通过激光波长调谐相移方式测试得95%有效口径下干涉腔精度为λ/10，RMS重复精度＜0.001λ（1σ）。
    同时，为完成“ZYGO600mm干涉仪”项目任务，课题组开展了深入的研究工作，该项目任务的完成，为今后的技术消化吸收和稳定运行打下了基础，也为“神光”系列装置大尺寸光学元件的顺利供货提供了基本的检测条件，对提升上海及周边地区大尺寸平板光学元件的光学加工和检测能力有着非常大的推动作用。
    项目验收组一致同意通过了该项验收。

（科研管理处供稿）

 

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