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上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一八〇期）

2006年3月15日

上海光机所六项光科技项目近期通过验收

 
    我所承担的上海市光科技项目，近期在上海市科委组织下陆续进行了结题验收，这些项目分别是：
    1．精密光电测控研发中心程兆谷研究员负责的“硅片缺陷自动检测仪研制”项目。该项目组在倾斜入射激光扫描散射检测技术，高效率大数值孔径散射光收集和光电检测技术，提高探测灵敏度和获得高的新噪比关键技术等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自动检测仪”样机。该样机的研制成功对于改变我国大规模集成电路专用检测设备长期依赖进口局面，研制和开发具有自主知识产权的国产化设备取得重要进展。
    2．光学薄膜技术研发中心张伟丽研究员负责的“全固态激光器薄膜的关键技术攻关”项目。该项目组在玻璃基底上成功的镀制出符合课题指标要求的薄膜，在研发中心已有3台专用于全固态激光器薄膜生产的专用镀膜机群。
    3．激光与光电子功能材料研发中心姜雄伟研究员负责的“超短脉冲激光诱导材料结构显微改性的研究和应用探索”项目。该项目组研究了飞秒激光的各项参数、激光的扫描速度，以及不同倍率的聚焦镜头对不同形状和尺寸微孔的激光加工特性的影响，并通过多次扫描的方法制成了微孔阵列。
    4．高密度光存储技术实验室耿永友研究员负责的“可录型高密度数字多用光盘（DVD-R）存储材料和盘片产业化技术开发”项目。该项目组在项目实施过程中建立了高密度可录光盘材料研发中心（与上海飞凯光电材料有限公司共建），形成DVD－R染料研发中试线和高密度可录光盘（DVD－R）盘片研发平台。
    5．先进激光技术应用系统实验室向世清副研究员负责的“基于光纤光栅的新型温度/应力传感器”项目。该项目组研制出了应力和温度两种光线光栅传感器样机，达到了系统功能、应变、温度传感指标，探索了该类传感器更符合实际的设计方式和应用规律，完成了多用途传感元件的传感机理、方法、设计结构和产业化方案的研究。样机已具备产业化的前期基础。
    6．强场激光物理国家重点实验室高鸿奕副研究员负责的“高精度大口径光学波面测量技术”项目。该项目组在抗环境扰动方面，设计并建立了一个以二级免充气抗震平台为主的测量环境，建立了一套高精度的光学波面测量装置。
    以上项目，均已圆满完成计划任务书规定的研究成果和考核指标，经验收委员会认定，一致同意通过验收。

（科研管理处供稿）

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