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上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一四三期）

2004年10月22日

上海光机所“基于MOEMS无阻塞16´16阵列光开关”的研制取得新进展

　　光开关是光学测试和光通信系统中的关键器件。在光通信系统中，光开关是实现光交换的核心器件，随着密集波分复用（DWDM）技术在光纤通信中的广泛应用，光开关的研究日益成为全光通信网络关注的热点。
　　“基于MOEMS无阻塞16´16阵列光开关”项目是上海光机所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担国家863计划项目，在该项目的研制过程中，课题组特别注重光开关器件的可靠性和稳定性工艺技术的深入研究，在阵列光开关的整体结构设计、基于MEMS的微电磁执行器制备、微光学双面反射镜制备、光纤准直器的固定封装工艺、多路对多路矩阵光开关的精密装配技术、阵列光开关的组封装和无阻塞算法等方面不断改进，组建了一套稳定可靠的制备工艺平台和装配流程，并且编制了一套基于嵌入式系统的光开关调试、测试计算机控制管理软件系统。目前，课题组已经成功地研制出基于MOEMS的1´2、2´2、4´4、8´8和16´16阵列光开关，并均通过了华东国家计量测试中心上海市计量测试技术研究院检验和测试。其中基于MOEMS无阻塞8´8和16´16阵列光开关主要性能为：插入损耗£4dB，回波损耗£-50dB，串扰£-70dB，交换时间£10ms，具有无阻塞特性和自锁功能。基于MOEMS无阻塞4´4阵列光开关主要性能：插入损耗£2dB，回波损耗£-50dB，串扰£-70dB，交换时间£10ms，具有无阻塞特性和自锁功能。1´2和2´2光开关的温度相关损耗(0°至65°C)小于0.5dB，插入损耗£0.8dB,开关时间£8ms，回波损耗£-50dB，串扰£-70dB，具有自锁功能。
　　光电子国家863计划专家组陈浩明教授一行四人于9月17日来所全面检查了“基于MOEMS无阻塞16´16阵列光开关”课题组的研究工作，亲临现场观看了16´16阵列光开关的光交换演示实验，对该项目取得的新进展和研究成果予以充分肯定，并希望研制成功的阵列光开关器件能够用于光通信网络试验。（信息光学实验室供稿）

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