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上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一三九期）

2004年9月17日

上海光机所“纳米精度激光激振测振仪”
通过验收

2004年9月1日，在科技部高技术中心和上海市科学技术委员会主持下，国家863计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项专家组对我所承担的国家863计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项课题“纳米精度激光激振测振仪”课题进行了验收。
验收委员会以东南大学黄庆安教授为组长，成员包括哈尔滨工业大学孙立宁教授、华中科技大学刘胜教授、上海大学副校长龚振邦教授、科技部高技术中心三处盛延林处长、863计划MEMS重大专项办公室索红高工、上海市科委高新处胡睦副处长和上海市科委高新处许清业高工。
我所信息光学实验室王向朝课题组承担的“纳米精度激光激振测振仪”于2002年9月立项，经过课题组全体科技人员一年多的艰苦努力，研制了一种MEMS结构的小光斑激振技术，激振光斑直径小于10μm。课题组将该光致驱动技术与国际前沿的光学正弦相位调制干涉技术相结合，同时采用实时鉴相、实时Phase-unwrapping、光纤与反馈抗干扰技术，研究开发了一种用于MEMS结构的纳米精度激光激振测振技术。在此基础上，该课题组成功研制出了纳米精度激光激振测振仪样机。经华东国家计量测试中心现场测试，该样机能够对MEMS结构等微结构进行激光激振，即以光致驱动的方式使MEMS结构产生振动，同时测量其振动。样机激振光斑直径小于10μm；振幅测量重复精度小于3nm；测振振幅分辨力达到0.1nm；位移测量分辨力达到0.1nm。样机能够显示物体振动位移随时间变化的曲线。 经上海科学技术情报研究所（国家一级查新咨询机构）进行水平检索，该样机达到国际先进水平同类产品。该项目申请国家发明专利4项，授权实用新型专利4项，发表论文8篇。
通过光致驱动方式使MEMS芯片振动，并对纳米精度振动进行检测，可以得到MEMS芯片的相关性能特性。同时，MEMS芯片配置这种激振测振手段，可构成多种传感器，对样品成分的属性及其含量进行检测和筛选，并对生物反应过程中成分的变化进行动态监测。该项目研发的纳米精度激光激振测振技术配置相应的MEMS芯片，构成MEMS光学传感器在医学诊断、细菌探测、环境监测、食品检验、药物筛选等领域有着广泛的应用前景。验收委员会一致通过该项目的验收。（科研管理处供稿）

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