Abstract

高精度光学元件的在位/在线测量、环境与状态参量的多传感器数据融合、以及加工-检测装备的数字孪生一体化是实现智能光学制造的关键技术。研究了适用于复杂曲面在位测量的相位偏折术，分析了制约测量精度的三个核心难题，提出自适应几何标定、双表面混叠条纹分离、相位解耦与卷积误差校正等方法，将面形测量精度提高到20nm RMS级别。提出柔性数字全息显微技术，实现大尺寸元件微观形貌的跨尺度测量，克服了显微测量的景深限制及衍射重构误差，显著提高了测量效率与可靠性。并基于深度学习在测量误差建模及工艺参数优化中的优势与局限性，探讨人工智能与光学制造交叉的结合点。

Biography

张祥朝，复旦大学光科学与工程系副研究员，上海超精密光学制造工程中心副主任。SPIE高级会员，OSA、ASPE、IEEE会员，中国仪器仪表学会精密机械分会理事，上海激光学会专业委员，九三学社复旦大学邯郸委员会委员。2005年毕业于中国科学技术大学，2009年获英国哈德斯菲尔德大学博士学位，2011年12月进入复旦大学工作。

研究方向主要为精密光学测量技术与表面计量学。在SCI期刊和国际会议上发表论文一百余篇，并担任Advances in Manufacturing等SCI期刊编委，国家自然科学基金委员会、英国EPSRC项目评审专家。作为负责人承担了国家自然科学基金、上海市自然科学基金、科技部重点研发计划等多项科研项目。获教育部科技进步二等奖、日内瓦国际发明展金奖等荣誉。