Abstract

先进计量和精密测量是保障集成电路、航空航天及国防军工等支柱制造领域发展的基石。随着高附加值产品的发展，高端元器件的表面形貌极大程度上决定了其功能、性能以及材料的摩擦学、流体力学和光学等属性。在宏、微观尺度上精确测量和表征元器件表面形貌是通向高端制造的必经途径，而光学测量技术正逐渐发展成为“工业4.0”和“智能制造”时代的主流计量与检测解决方案。本次报告主要介绍光学表面测量领域目前的主要进展和挑战，希望创造多学科间交叉合作的机会。

Biography

苏榕，中科院上海光机所研究员，博士生导师。长期致力于制造测量学与精密光学表面测量学研究；在光学和测量学领域代表性国际期刊发表论文30余篇，书籍章节2章，开发精密测量相关软件2套；部分关键技术被国际顶尖仪器制造商采用。担任Nanomanufacturing and Metrology和Light: Advanced Manufacturing编委，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技术委员会委员，全国专业标准化技术委员会观察员，以及CIRP青年会员(2016-2019)。