Abstract

    干涉测量是精密光学元件高精度的测量方法，广泛应用于零件的终端检测和过程工艺的研究，目前生产中一个趋势是加工和过程检测的集成。动态干涉仪良好的动态特性使其能适应车间环境，可以在一定的振动条件下完成测试。因此已广泛应用于生产过程中的现场测试。然而，一个必要的条件是将被测轮廓的表面粗糙度和梯度控制在一定的范围内，这限制了干涉仪的应用范围。非干涉法对光学元件的测量环境和表面质量有较好的适应性，但需要解决测试分辨率和精度的问题。本报告将介绍基于动态干涉仪的车间环境中大尺寸光学元件的测量，给出不同尺寸工件的测量结果。同时介绍光学元件非干涉测量的研究工作以及圆柱元件的表面面形测量结果。

                                                                                   Biography

    研究领域：光学成像、精密检测与全息立体显示等，近年来主要聚焦于大尺寸光学元件的干涉在位检测、波长移相干涉多信息分离、非干涉光信息处理等方面的项目研究工作。完成和在研的项目有国家自然科学基金项目、国家重大科技专项课题、国家重点研究计划项目课题、国家科技部国际合作项目、上海市光科技专项、上海市科委重点项目、上海市科委国际合作项目、上海市科技启明星人才计划项目以及多项企业合作项目等。获省部级科技进步二等奖1项、三等奖2项。在国内外期刊和国际会议上发表论文100余篇，授权发明专利20余项。兼任中国仪器仪表学会理事、中国仪器仪表学会精密机械分会常务副理事长和秘书长、中国仪器仪表学会标准化工作委员会委员、中国计量测试学会计量仪器专业委员会委员、中国光学学会全息与光信息专业委员会委员、中国光学工程学会委员等。