Abstract

魏劲松研究员主要从事非线性超分辨纳米光学研究以及相应的光学仪器系统设计与研制，并用于纳米光刻、大数据存储以及超分辨光学成像等。目前，以第一和通讯作者发表SCI/EI论文100余篇，引用近千次，出版英文著作2部和科技图书专著，获得授权的国家发明专利20项，获得中国出版协会等组织的2015年度输出版优秀图书奖，并提出的“无极限跨尺度激光热模光刻技术与系统集成”获得2018年度首届“率先杯”未来技术创新大赛决赛优胜奖。

报告简介

由军委科技委发起、中国科学院主办的第一届“率先杯”未来技术创新大赛，共170多家科研院所、社会研究机构、高校、企业及创新创业团队总计600余个项目、3000余名选手参赛。经历3轮大比例的淘汰，我所魏劲松研究员的参赛项目“无衍射极限的跨尺度激光热模光刻技术” 等30个项目脱颖而出，获得第一届率先杯未来技术创新大赛决赛优胜奖。

光刻在芯片制造中最为关键，也是难度最大、占用成本最高的一个环节。传统的激光光刻，其曝光过程是基于有机光刻胶的光化学反应（光模(photon-mode)光刻），其进一步发展受到多种因素的制约。“无衍射极限的跨尺度激光热模（heat-mode）光刻技术”从物理机制上不同于传统的光模光刻。在该技术中，光刻胶吸收光子能量后，不会直接破坏价键结构，而是将其进一步转化成晶格振动能；通过精密调控其光热非线性、光热相变和热扩散等物理特性来改变光刻图形尺寸，从而实现无衍射极限的跨尺度光刻。