微纳结构在当代光电功能元件中得到了广泛的应用，其表面质量对整个系统的性能有决定性的影响。介绍了目前主要测量技术的局限性，并发展了基于波长扫描干涉及数字全息干涉的精密光学测量方法，显著提高了测量精度。发展了结构表面质量的通用表征技术，基于正则优化及多尺度几何分析，可有效识别不同类型的形态特征，并进行可靠的量化评定。

张祥朝1982年生，复旦大学光科学与工程系副研究员，SPIE会员，ASPE会员，九三学社社员。2005年毕业于中国科学技术大学，2009年6月获英国Huddersfield大学博士学位，2011年12月进入复旦大学工作。 其研究方向主要为精密光学测量技术、表面形貌评定以及微光学技术。在SCI期刊和国际会议上发表论文五十余篇，承担了国家自然科学基金、上海市自然科学基金、航天技术基金等多项科研项目。