微纳制备技术是微器件结构及功统集成的基础。针对光学工程、仿生加工、芯片实验室、智能机械等领域对微纳制备技术提出高要求,如三维可设计、纳米加工精度和适用多种材料等,我们系统研究了激光直写和多光束干涉这两种最典型激光加工技术、发展了多种新型复合型激光加工方法,提出了加工新原理和关键技术,并将其应用于微光学、微机械、微流控和仿生表面等,取得了一系列创新成果。
吴东,1983年10月生,教授,博导。2010年于吉林大学大学获微电子学与固体电子学博士学位。2011年在日本理化学研究所做博士后,2014年6月加入中国科学技术大学精密机械与精密仪器系任教授共发表SCI论文35篇,在Light: Sci & Appl. (Nature系列子刊),PNAS(美国科学院院刊),Adv. Mater.,Laser Photon. Rev., Lab Chip, Appl. Phys. Lett., Opt. Lett.等杂志发表相关论文 (一作16篇、通讯3篇),其中影响因子3.0以上34篇,6.0以上一区论文14篇。2012年获得全国百优博士论文奖。
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