苏全民, 中国科学院沈阳自动化研究所研究员，国家特聘专家，全国显微镜协会理事。1988年中国科学院合肥固体物理研究所博士，同年赴德国KFA研究中心进行博士后研究，随后分别在马里兰大学，Raytheon System任职，并于1999年加入Veeco/Bruker布鲁克，专注原子力显微镜(AFM)产品研发,于2017年全职回国。回国前担任美国布鲁克公司高级技术总监，领导原子力显微镜技术和系统的研发。苏全民是55 项美国授权专利的发明人，领导开发的产品曾获 R&D 100（2002）和 Microscopy Today（2012） 年度最佳产品奖，并在纳米研究，磁储存和半导体产业中得到广泛应用。苏全民发表了80多篇论文；并组织了“Seeing at the Nanoscale”系列国际会议，担任各种国际会议的分会主席，如MRS ， M&M， AVS等。

   刘连庆，沈阳自动化所机器人学国家重点实验室研究员，主要研究方向：类生命机器人，微纳机器人，智能机器与系统。在 Nature Communications、Science Advances、IEEE汇刊期刊发表论150余篇，26篇论文被Lab on a chip, Engineering, Small, IEEE TBME等选为封面故事，5 次获IEEE-ROBIO等国际会议最佳论文奖。研究成果先后入选美国实验室自动化与筛选学会年度十大技术突破 (2017 SLAS TOP 10)和中国智能制造十大科技进展(2020)。获得中科院卓青项目(2015)、国家自然科学基金优秀青年基金(2015年)、杰出青年基金(2019年)等人才项目支持；当选IEEE机器人与自动化学会副主席(2018-2019)、资深顾问(2020-2021)，担任国家机器人标准化总体组秘书长、“智能机器人”国家重点研发计划总体组专家、中国自动化学会机器人专业委员会主任委员、共融机器人专业委员会副主任委员、中国机械工程学会机器人分会副总干事、中国微纳米学会微纳机器人分会副理事长等。获IEEE机器人与自动化学会青年科学家奖(IEEE RAS Early Career Award) ，中国自动化领域年度人物，首届熊有伦智湖优秀青年学者奖，中国科学院卢嘉锡青年人才奖，中国科学院院长优秀奖，辽宁省青年五四奖章，辽宁省五一劳动奖章等荣誉。

   原子力显微镜（AFM）建立于探针与试样在纳米尺度局域化相互作用的传感和测量的基础上，广泛应用于纳米尺度精测，粗糙度，以及其他物理和化学性能测量。本次报告在阐述AFM技术进展的基础上着重讨论其面临的挑战，包括测量试样，测量尺度和纳米加工。在测量试样方面，如何解决超大光学器件和大型平板显示的原位纳米测量的需求和系统稳定性的矛盾；在测量尺度方面，如何解决半导体工艺前端的先进结点的有限空间（如Nanosheet FinFET结构）和探针物理作用场分布的矛盾；在纳米加工方面（如EUV掩模修复），如何解决同一探针测量与加工的矛盾。报告针对上述矛盾进行了进一步探索，形成了解决机械回路稳定性，局域物理相互作用的精准控制和测量加工一体化的系统解决方案。最后我们将对大型复杂曲面原位测量的初步结果以及尺度精测与掩模修复加工的应用结果进行分析和讨论。

   大自然亿万年的进化使得生命系统具备具备了与生存环境相适应的组织、器官和结构，这为人类的技术创新提供了无限的想象空间，成为人类取之不尽用之不竭的灵感来源。以仿生学为基本思路，机器人研究取得了令人震撼的迅猛发展。然而生命系统如此精妙，仿生学意义上的人工系统很难完全复现生命系统的本征特性，如何进一步提升性能，让人工系统逼近乃至超越生命系统是当前科技界的研究热点。本报告提出类生命机器人的研究理念，通过生命系统和机电系统在分子和细胞尺度的融合，推动机器人系统由非生命介质向生命介质转变，使得机器人同时具备生命系统和机电系统的优点，进而提升机器人的各种性能、带动机器人学科的发展。报告将以感知、驱动和智能为例，介绍如何以活体细胞为物质载体，通过与机电系统的结合，实现生命本征感知、驱动和智能，演示出类生命机器人理念的先进性和效果。