9月23日，上海光机所恒益光学精密机械有限公司研制生产的Φ600mm大口径激光平面干涉仪产品在中国建筑材料科学研究总院通过了入场验收。产品的各项性能指标均优于合同指标，其中标准镜580mm有效口径面形优于0.1λ，1.2m空腔指标达到0.102λ（λ=632.8nm），与国外同类大口径干涉仪产品的技术水平相当。 

　　自2007年起，恒益公司在相关研发保障项目的推动下，开始启动Φ600mm大口径激光平面干涉仪研制项目，该项目在国内首次采用了1×6扩束技术方案，在大口径扩束器研制、全频谱空腔配修、大镜面精密支撑与吊装和环境气流控制等方面取得了一系列的技术成果与技术创新，形成专利技术2项。目前，研制成功的2台套Φ600mm大口径激光平面干涉仪在恒益公司车间一线已经服务于400mm口径钕玻璃以及白玻璃的精密光学加工面形检测，其稳定性和测试结果与进口终检设备的对标一致性良好，为相关专项任务以及大口径白玻璃光学元件的加工发挥了重要的作用。 

　　2015年起，恒益公司整合自身多年来在超精密光学、机械加工与精密装配领域的技术优势和积累，专门成立仪器装备研发部门，加强市场化开发力度，绘制了发展仪器装备的“十三五”规划布局，大口径干涉仪市场开发项目是其中的重要战略部署之一。截止目前，恒益公司承接市场化600mm大口径激光平面干涉仪整机及配修项目已达4项，总计经费近两千万元。恒益公司将全面部署人员队伍，加强技术创新，积极探索新的商务模式，进一步提升在大口径激光干涉仪的高端制造与市场开拓能力。（恒益公司供稿）

　　图1.最优透过标准镜面形 （左）、最优反射标准镜面形 （中）、最优空腔配修指标（右）