上海光机所周常河课题组最近利用高密度等离子体刻蚀设备、半导体光刻工艺技术和激光全息技术，发展出石英玻璃深刻蚀技术，成功地在石英玻璃基底上加工出优化深度的亚波长光栅，实验证明其具有很高的偏振隔离度和衍射效率，是非常优良偏振分光器件。
　  该器件具有使用寿命长，不易霉变，稳定、可靠，热稳定性好等显著优点。本项工作已经申请发明专利，并在国际刊物Optics Letters 32, 1299(2007)上发表。
　  偏振分光器是光学中的基础器件，广泛应用于光学实验和光学仪器。所谓的偏振分光，就是把不同偏振的光在空间上分成不同的方向。通常的实现方法有双折射晶体、偏振多层膜和高分子膜三种，但双折射晶体价格昂贵，偏振多层膜工艺复杂、成本高，而高分子膜有吸收损耗大等不足之处。采用石英玻璃研制出偏振分光器，是有别于这些途径的新方法。石英玻璃是各向同性材料，对于不同的偏振光表现出一样的性能，这个技术的奇妙之处在于能将普通的各向同性的石英材料变为具有优良偏振分光性能的器件，同时石英玻璃材料具有很宽的透光光谱，热膨胀系数小、成本低廉，因此，深刻蚀亚波长石英光栅器件有很好的应用前景。

（信息光学开放实验室供稿）