数量：3个
升降温速率：≥1℃/min
温度范围：-70℃~+130℃
真空系统漏率：＜5x10-9Pam3/S
温度均匀度：≤±1.0℃
极限真空度：≤5x10-5Pa
中国科学院上海光学精密机械研究所宇航光电器件可靠性验证与试验中心欢迎您的访问！
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真空系统漏率：＜5x10-9Pam3/S
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