检测设备
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高精度光谱仪宽带光谱仪：600-1700nm 光学分辨率：0.05nm FWHM -
真空罐数量：3个 升降温速率：≥1℃/min 温度范围：-70℃~+130℃ 真空系统漏率：＜5x10-9Pam3/S 温度均匀度：≤±1.0℃ 极限真空度：≤5x10-5Pa -
高倍显微镜有效像素：2048*1536 变焦镜头：放大倍率0.1-50X 放大倍数20~200X，工作距离25.5mm 放大倍数100~1000X，工作距离25mm 放大倍数500~5000X，工作距离4.2mm -
氦质谱检漏仪最大检测压力：30hPA 最小检测漏率（吸枪模式）：1.0*10-8Pa.m3/S 最小检测漏率（真空模式）：5.0*10-13Pa.m3/S 噪声：66dB