为进一步加强对自主研制科学仪器成果的推广应用，促进自主研制工作的可持续发展，中国科学院条件保障与财务局梳理出了技术成熟度高且具有重要应用推广价值的自主研制科学仪器及部件，并通过《中国科学院院刊》平台正式出版了《中国科学院自主研制科学仪器2020》。

中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队研制的600mm激光干涉仪（含拼接装置）和高精度电光晶体定向仪入选到《2020年增刊1》的信息与工程科学类目中，类目编号为“104”和“105”。

600 mm激光干涉仪（含拼接装置）主要应用在强激光装置、天文光学、空间光学等领域大口径光学元件的检测，该设备的测量口径600 mm（可定制到800mm），标准参考镜面形精度PV优于0.1λ，测量重复性RMS优于0.6 nm，系统传递函数（ITF）优于0.7@0.4cycles/mm，利用拼接装置可实现口径1400 mm×420 mm的元件全口径面形误差的测量，拼接测量精度PV优于0.1λ。

高精度电光晶体定向仪广泛应用于电光晶体非接触定向和高精度切割制造等测量，该设备的锥光干涉条纹图分辨率为2048×2048，可测量的样品尺寸不大于400 mm×400 mm，厚度10-20 mm，Z轴偏离角测量精度优于0.200 mrad。

相关工作得到了重大专项项目、中科院仪器修购项目等项目的支持。

图1 600 mm激光干涉仪

图2 600 mm激光干涉仪——拼接装置

图 3 电光晶体定向仪

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