中科院强激光材料重点实验室*

中心引进NKD7000薄膜分析仪

更新时间:2023-11-23 【打印】 【关闭

中心引进NKD7000薄膜分析仪

中心与英国AQUILA公司和北京正通远恒科技有限公司合作建立了薄膜分析联合实验室,并从AQUILA公司引进了NKD7000薄膜分析系统,该套系统是专为表征和分析薄膜涂层和基片而设计的光谱仪,其功能主要用于测量薄膜的折射率、消光系数和厚度,适合于介电、聚合物、半导体和金属等多种薄膜材料。

NKD7000技术指标:

波长范围 350nm-1700nm(宽光谱型)
光谱分辨率 12nm(可选)
样品尺寸 10×10mm(最小)-200×250mm(最大)标准系统
直径100mm X-Y方向扫描台
基体   透明,半透明或半吸收。最大厚度可达7mm
薄膜厚度范围 10nm-20μm,依角度、偏振光和波长而定
精度 半吸收膜 典型 最大
膜厚 <1%  <3% 
折射指数 <0.01% <0.1%
消光系数 <1% <3%
金属膜
膜厚 <1%  <3% 
折射指数 <1% <3%
消光系数 <1% <3%
重复性 透射率 <0.01% <0.1%
折射率 <0.01% <1.0%
折射指数 <0.01% <0.1%