中科院强激光材料重点实验室*

上海上诠公司资助的进口离子源已经到货

更新时间:2023-11-23 【打印】 【关闭

上海上诠公司资助的进口离子源已经到货




本中心与上海上诠光纤通信设备有限公司合作从Oxford Applied Research购买的RF50射频离子源已经到货。

RF50射频离子源(RF Ion Source)具有无阴极灯丝,在等离子区内没有任何热电极,它既适用于用反应气体,如氧、氯、氢等,也适用于用惰性气体,如氩。RF50具有以下特征:

能量:100~1000eV
束流:
>2mA/cm2
气流速度:1~5sccm
气体控制:UHV漏阀
射频电源:600W13.56MHz


    该射频离子源对我们在对光学薄膜性能的研究、改进方面具有极其重要的作用:

    
   对薄膜无污染;
   对薄膜基片进行预清洗;
   使沉积的薄膜更致密;
   能提高和控制沉积材料的折射率;
   能使反应溅射时的反应更充分。
   对该设备的具体应用的研发工作正在进行中。