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 设备参数

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• 型号：4200A-SCS
• 主要指标：
  测量模式：AC阻抗测量（C-V，C-f，C-t）
  频率范围：1 kHz ~ 10 MHz
  源项：±30 V（60 V差分）内置DC偏置源，可以扩展到±210 V（420 V差分）
• 功能：
  用于薄膜电子尺度缺陷检测，提取掺杂浓度、平带电压、氧化层厚度、栅面积、开启电压等参数